Жарым өткөргүчтүү литографияда (фотолитография деп да аталат) таштарыбыз силикон пластиналар жана биздин үлгүлөр фоторезист деп аталган жарыкка сезгич полимер менен жазылган.
Фотолитография деген эмнени түшүнөсүз?
Фотолитография, ошондой эле оптикалык литография же UV литография деп да аталат, бул микрофабрикацияда жука пленкада же субстраттын негизги бөлүгүндө (ошондой эле пластинка деп аталат) үлгү алуу үчүн колдонулган процесс.. … Бул ыкма бир нече ондогон нанометрге чейин өтө кичинекей үлгүлөрдү түзө алат.
Литография эмне үчүн жарым өткөргүч өндүрүшүндө колдонулат?
Фотолитография - бул микрофабрикацияда геометриялык оюмдарды пленкага же субстратка өткөрүү үчүн колдонулган процесс. Жарым өткөргүчтөгү геометриялык фигуралар жана үлгүлөр кошумча заттарга, электрдик касиеттерге жана зымдарга бир схеманы бүтүрүүгө жана технологиялык максатты аткарууга мүмкүндүк берген татаал түзүлүштөрдү түзөт.
Фотолитографиянын максаты эмне?
Фотолитография микрофабрикациянын эң маанилүү жана эң оңой ыкмаларынын бири жана материалда деталдуу үлгүлөрдү түзүү үчүн колдонулат. Бул ыкмада жарыкка сезгич полимерди ультра кызгылт көк нурга тандап алуу аркылуу форманы же оймо-чийме түшүрүүгө болот.
Жарым өткөргүчтүү литография жабдуулары деген эмне?
Жарым өткөргүчтүү литография жабдуулары жарым өткөргүч-чиптин экспозиция фазасында колдонулатөндүрүш процесси. … Жарым өткөргүч литография жабдыгы ретикула деп аталган оригиналдуу пластинкада жазылган схеманын үлгүсүн азайтуу үчүн проекциялык линзаны колдонот жана үлгүнү пластинкага чыгарат.
