Фотолитография – бул микрофабрикацияда геометриялык үлгүлөрдү пленкага же субстратка өткөрүү үчүн колдонулган процесс. Жарым өткөргүчтөгү геометриялык фигуралар жана үлгүлөр кошумча заттарга, электрдик касиеттерге жана зымдарга бир схеманы бүтүрүүгө жана технологиялык максатты аткарууга мүмкүндүк берген татаал түзүлүштөрдү түзөт.
Фотолитография процесси деген эмне?
Фотолитография, ошондой эле оптикалык литография же УК литография деп аталат, бул жука пленкадагы же субстраттын негизги бөлүгүн (ошондой эле пластинка деп аташат) микрофабрикалоодо колдонулган процесс. … Татаал интегралдык схемаларда CMOS пластинкасы фотолитографиялык циклден 50 жолу өтүшү мүмкүн.
Микрофабрика процесси кандай?
Микрофабрикация - бул микрометрдик масштабдагы жана андан кичирээк миниатюралык конструкцияларды жасоо процесси. … Микрофабрикациянын негизги концепциялары жана принциптери болуп микролитография, допинг, жука пленкалар, оюу, бириктирүү жана жылтыратуу саналат.
Жарым өткөргүчтөрдөгү литография процесси деген эмне?
Жарым өткөргүчтүү литография системасы процессин ишке ашырат, мында чоң айнек пластинкадан жасалган фотомаскага тартылган өтө татаал схема схемалары ультра жогорку натыйжалуу линзалар аркылуу кыскартылат жанадеп аталган кремний субстратына экспозицияланат.вафли. …
Өнөр процессинде литография деген эмне?
Литографияжарым өткөргүч пластинанын бетин каптаган радиацияга сезгич материалдын жука катмарына маскадагы геометриялык фигуралардын үлгүлөрүн өткөрүү процесси (каршылык деп аталат). 5.1-сүрөттө IC жасоодо колдонулган литографиялык процесс схемалык түрдө көрсөтүлгөн.
