Фотолитография көбүнчө компьютер микросхемаларын өндүрүү үчүн колдонулат. Компьютердик чиптерди өндүрүүдө субстрат материалы кремнийден жасалган каршылык менен жабылган пластинка болуп саналат. Бул процесс жүздөгөн чиптерди бир эле учурда бир кремний пластинкасына курууга мүмкүндүк берет.
Фотолитография кантип жасалат?
Фотолитография үлгүнү маскадан вафлиге өткөрүү үчүн үч негизги процессти колдонот: каптоо, иштеп чыгуу, экспозиция. Үлгү кийинки процесстин жүрүшүндө пластинанын беттик катмарына өткөрүлүп берилет. Кээ бир учурларда, каршылык үлгүсү салынган жука пленканын үлгүсүн аныктоо үчүн да колдонулушу мүмкүн.
Эмне үчүн ал фотолитография деп аталат?
Жарым өткөргүч литография (фотолитография) - Негизги процесс . Интегралдык микросхеманы (IC) жасоо жарым өткөргүч (мисалы, кремний) субстратында аткарылуучу ар кандай физикалык жана химиялык процесстерди талап кылат. … Литография деген сөз грек тилинен таш дегенди билдирет litos жана graphia жазуу дегенди билдирет.
Литография эмне үчүн маанилүү?
Литография - жарым өткөргүч пластинанын бетин жаап турган радиацияга сезгич материалдын жука катмарына маскадагы геометриялык фигуралардын үлгүлөрүн өткөрүү процесси. 5.1-сүрөттө IC жасоодо колдонулган литографиялык процесс схемалык түрдө көрсөтүлгөн.
Литографиялык методдордо эң көп колдонулган ыкма кайсы?
Оптикалыклитография – бул фотон негизиндеги техника, кремний пластинкасы сыяктуу субстраттын үстүнө капталган фотосезгич эмульсияга (фоторезист) сүрөттү проекциялоодон турат. Бул жарым өткөргүч өнөр жайы тарабынан нано-электрониканы жогорку көлөмдө өндүрүүдө эң кеңири колдонулган литография процесси.
