Фотолитография үлгүнү маскадан вафлиге өткөрүп берүү үчүн үч негизги процессти колдонот: каптоо, иштеп чыгуу, экспозиция. Үлгү кийинки процесстин жүрүшүндө пластинанын беттик катмарына өткөрүлүп берилет. Кээ бир учурларда, каршылык үлгүсү салынган жука пленканын үлгүсүн аныктоо үчүн да колдонулушу мүмкүн.
Фотолитография деген эмне? Ал кантип иштейт?
Фотолитография - бул калыптоо процесси, мында фотосезгич полимер беткап аркылуу жарыкка тандалма таасир этет жана полимерде жашыруун сүрөттөлүш калтырат, ал кийин тандап эритүү үчүн үлгүлүү болот негизги субстратка кирүү.
Эмне үчүн фотолитография колдонулат?
Фотолитография микрофабрикациянын эң маанилүү жана эң оңой ыкмаларынын бири жана материалда деталдуу үлгүлөрдү түзүү үчүн колдонулат. Бул ыкмада жарыкка сезгич полимерди ультра кызгылт көк нурга тандап алуу аркылуу форманы же оймо-чийме түшүрүүгө болот.
Эмне үчүн UV нуру фотолитографияда колдонулат?
Фотолитография УФ жарыгында клетка камтыган преполимерди кайчылаш байланыштырып, гидрогелдердин ичиндеги клеткаларды 3D капсулдаштырууга мүмкүндүк берет. Сүрөт маскасы керектүү үлгүнү алуу үчүн колдонулат [88].
Фотолитографияга кандай талаптар коюлат?
Жалпысынан фотолитография процесси үчүн үч негизги материал, жарык булагы, фото маска жана фоторезист талап кылынат. Фоторезист, фотосезгич материал,оң жана терс эки түрү бар. Оң фоторезист жарык булагынын таасири астында эрийт.
Photolithography: Step by step
